Режим источника
Давление Ar, p0.5 Па
рост p → поток атомов ↑, но энергия ↓ (перезарядка ближе к сетке)
Напряжение сетки, U3.0 кВ
энергия быстрых атомов ≈ eU → коэффициент распыления Y ↑
Ток эмиссии, I1.0 А
больше ток → выше плотность плазмы и поток Φₐ
Расстояние подложки, z200 мм
фокус пучка ≈ радиус кривизны сетки (200 мм). В фокусе плотность max
Материал подложки
AlEсв низкая
Al₂O₃Eсв высокая
ZrO₂лезвие
Физика процесса
Перезарядка: при p≈0,5 Па длина пробега λ≈4 см меньше слоя у сетки — ион Ar⁺ ловит электрон и летит дальше уже как быстрый нейтральный атом.
Почему нейтралы: диэлектрик не накапливает заряд, поэтому травится без нейтрализатора.
Фокус: вогнутая сетка сводит траектории в точку на расстоянии ≈ радиуса кривизны.
Почему нейтралы: диэлектрик не накапливает заряд, поэтому травится без нейтрализатора.
Фокус: вогнутая сетка сводит траектории в точку на расстоянии ≈ радиуса кривизны.
Вакуумная камера «Булат-6» · разрез
ион Ar⁺ (ускоряется к сетке)
быстрый нейтральный атом Ar⁰
стенка-катод / сетка
зона травления
маска
Приборы
Энергия атомов Eₐ ≈ eU—
Поток на подложку Φₐ—
Коэф. распыления Y—
Фокусировка пучка—
Профилометр Dektak XT
—
скорость травления, нм/мин
Ступенька Δz за 1 ч—